Универсальный вакуумный пост ВН-3000

Универсальный вакуумный пост ВН-3000 предназначен для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью магнетрона RF и DC, электронно-лучевого испарителя, термического испарения и ионного травления.

Исполнение

Установка выполнена в виде двух стоек – электрической и аналитической. Стойки располагаются рядом и соединяются между собой питающими, силовыми и сигнальными жгутами.

В электрической стойке расположены:

• блок распределительный;
• блок питания высоковольтный;
• блок питания магнетрона RF;
• блок питания магнетрона DC;
• блок управления;
• блок питания турбомолекулярного насоса;
• ноутбук.

В аналитической стойке расположены:

• вакуумная система;
• рабочий объем;
• внутри камерная оснастка;
• турбомолекулярный насос;
• система напуска газа в рабочий объем;
• система водяного охлаждения насоса, магнетрона, ЭЛИ.

Вакуумная система ВН-3000 работает в автоматическом режиме и позволяет получить вакуум в закрытом рабочем объеме без вмешательства оператора. В рабочий объем устанавливаются следующие устройства:

• механизм поворота;
• осветитель;
• устройство ионного травления/очистки (анод);
• устройство осаждения и нагрева;
• электронно-лучевой испаритель;
• магнетрон RF (максимальное количество магнетронов – до 6 шт).

Возможно доукомплектование установки кварцевым измерителем толщины КИТ.

Область применения

Приборы электронной техники, материаловедения, микроэлектроника, физика и другие отрасли, а также отработка отдельных технологических операций по напылению.